真空の状態をチェックしてください。
もしターボポンプの速度が100％に達していない場合、直ちにベントを行い、MSDを停止してください。
異常なノイズが断続的に発生する場合は、状況を観察できるならばシーケンスが終了するまで測定を続けることができると思います。しかし、音が継続的になったり、音量が増えるようだったら、直ちにベントしてください。
交換時期はターボポンプのベアリングの寿命によります。
5973シリーズでは、これは一般的に20,000時間です。
（これは、休日は運転し続け、定期的な現場の休業の間は休止するとして2.5年に相当します。）
さらに問題があるようでしたら、アジレント カスタマーサービスにお問い合せください。