以下のチェックを行なってください。
システムが真空を適正に立てることができない場合、ディフュージョンポンプ或いはターボポンプとフォアラインポンプを停止させます。
これは以下の状況により起きている可能性があります：
ディフュージョンポンプMSDで真空が300 mTorr以下に下がらない。
ターボポンプMSDでターボポンプの速度が7分間にわたって80％以下に下がっている。
こうした状態は、一般的には大量の空気のリークにより起こります。
分析器のサイドプレートのシールが不十分。
ベントバルブが完全に閉まっていない。
MSDインターフェースのカラムのフェラルが締まっていない。
こうした問題は真空マニホールド真空状態になっていないために起こる可能性もあります。
空気が取り除かれないと、分析器とポンプを損傷する危険性があります。
MSDの電源を入れたとき、いつもサイドプレートを押して、完全に閉まっていることを確認してください。
それでもユニットがスタートしない場合、アジレント カスタマーセンターにお問い合せください。