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KB000411: 5971でイオン源圧力が高すぎます、というエラーが発生しました。原因を教えてください。 <P>
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5971でイオン源圧力が高すぎます、というエラーが発生しました。原因を教えてください。 <P>
漏れにより真空チャンバ内の圧力が高くなり、イオン源の圧力が悪化することがあります。また、真空ポンプが効率的に作動していないことも考えられます。
イオン源のリペラーレンズが汚れている可能性も原因として考えられます。イオン源を清掃するか、リペラーを交換してください。リペラーが短絡する可能性があります。
このエラーは、メインボードが原因となって生じることもあります。ジャンパやスイッチで、本エラーを無効にすることができます。これにより、このエラーが汚れたリペラーまたは真空に関係するものかを判断できます。この操作は、技術者のみが行うようにしてください。
キャリブレーションバイアルの充填が完了したばかりの場合は、キャリブレーションバルブが2度または3度開くと、このエラーは消えます。または、キャリブレーションバイアルが過度に充填されている可能性もあります。