イオン源は定期的に清掃されますが、一部清掃が不可能な部品があり、これらの部品は交換する必要があります。たとえば、イオンフォーカス周辺のインシュレータとエントランスレンズがその一例です。5971または5972の場合は、リペラーアセンブリにもインシュレータがあります。これもアセンブリ全体を交換する必要があります。5973では、リペラーを分解し、インシュレータを取り外して交換することができます。部品番号は以下のとおりです。
5971,5972 - 05971-20130レンズインシュレータ（1対）
- 05971-60170リペラーアセンブリ
5973 - 05971-20130レンズインシュレータ（1対）
- G1099-20133リペラーインシュレータ（2つ必要）