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KB000403: 真空系の必要なメンテナンス頻度を教えてください。 <P>
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真空系の必要なメンテナンス頻度を教えてください。 <P>
フォアラインポンプオイルの確認（毎週）
キャリブレーションバイアルの確認（半年に1度）
フォアラインポンプオイルの交換（半年に1度、アンモニア試薬ガスを使用しているCIの場合は3か月に1度）
拡散ポンプオイルの確認（1年に1度）