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KB000395: 5973の真空排気を実施する手順を教えてください。ターボポンプ速度が8%のまま、またはディフュージョンポンプのフォアライン圧力が1000mlTorr超★millitorrはmilliliterのタイプミスと解釈してありますTorrは真空度の単位です★です。 <P> 

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  • 5973の真空排気を実施する手順を教えてください。ターボポンプ速度が8%のまま、またはディフュージョンポンプのフォアライン圧力が1000mlTorr超★millitorrはmilliliterのタイプミスと解釈してありますTorrは真空度の単位です★です。 <P>
      これは通常ベント後に起こります。アナライザが正しくすえつけられず、漏れが生じます。アナライザ位置を修正する場合は、真空排気サイクルを停止し、MSDをベントします。MSDの上部カバーを取り外します。アナライザのベースプレートには、サイドドアの正面上部と背面下部にキャプチャネジ(スプリング内蔵のネジで、外れないはずです)が2本あります。これらのネジが両方ともゆるんでいることを確認します(後部のネジは、装置を移動するとき以外は常にゆるめておいてください)。アナライザをそっと少しだけ開けます。ケーブルを引っ張らないよう注意してください。ドアを閉めて、左手で押しながら、MSDの電源を入れます。ChemStationの診断/真空制御画面で、通常どおり真空排気を実行します。 5973の真空排気の詳しい説明については、添付ファイルを参照してください。

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