Mikro-elektro-mechanische Systeme (MEMS)

 

Moderne Verfahren zur Oberflächenbearbeitung wie Photolithographie und CVD-Verfahren werden in der Mikroelektronik bereits seit längerem eingesetzt und gelten als außerordentlich präzise und reproduzierbar. In den letzen Jahren gewinnt die Miniaturisierung von mechanischen Bauteilen zunehmend an Bedeutung. Man verwendet Materialien wie Silizium, Glas, Edelmetalle und Edelstähle mit hoher chemischer und mechanischer Beständigkeit.

Im Micro Gaschromatographen sind sowohl elektrische als auch mechanische Bauteile miniaturisiert. GC-Module beinhalten jeweils Injektor, chromatographische Säulen mit Heizung und WLD.

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© Agilent 2002-2005